鈍化的銦鎵鋅 (IGZO)是新式凸顯高技術的的關鍵鈍化的物半導體芯片用料。在TFT中,可以采取代Si用料為溝道層用料。其出色功效能使器材保持較高的識別率、超底功率和低噪音分貝,可以用在于開發新式高功效LCD和OLED凸顯器。
原素符合 | : | IGZO |
材料 | : | In:Ga:Zn:O=1:1:1:4 (氧原子比) 另外物質可訂制 |
溶解度 | : | 4N+ |
圖行 | : | 立體靶;360度旋轉靶 |
金屬機身 | : | 亮灰黑色 |
典例孔隙率 | : | ≥6.30g/cm3 |
基本大小 | : | 品面靶: 片式靶材L300-1100mm 縮放靶: 單節靶材L300-700mm 其他尺碼可個性 |